TSMC望尘莫及 原AMD工厂出品零缺陷晶圆

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  【IT168显卡频道】BSN网站记者近日造访GlobalFoundries位于德国德累斯顿的Fab 1晶圆厂(原AMD Fab 36),对其无尘室进行了一次参观。让他们大吃一惊的是,GlobalFoundries居然能够造出完全无缺陷的芯片晶圆。

  早在未拆分前,AMD的晶圆良品率在业内就颇具口碑,甚至经常有消息称其良品率领先于Intel。现在,GlobalFoundries的德累斯顿工厂结合了AMD的传统和“德国工艺”,晶圆良品率依然保持在非常高的水平上。比如记者在工厂中看到的32nm SOI工艺以及28nm体硅测试晶圆,良品率都相当高。有的28nm体硅测试晶圆只有几十处缺陷,良品率肯定远高于近期备受诟病的台积电40nm生产线。

  更令人赞叹的是,记者在GlobalFoundries工厂内还看到了多块良品率高达100%的晶圆,以及更多缺陷数仅为个位数的高良品率晶圆,并且这些晶圆都是用于制造业已商品化的产品,而非测试用途。在一块300mm晶圆上找不到一处缺陷,数千亿个晶体管电路都可正常运行,这绝对是晶圆制造的终极目标。

GlobalFoundries可出品零缺陷晶圆
Fab 1总经理Udo Nothelfer

GlobalFoundries可出品零缺陷晶圆
32nm SOI测试晶圆

GlobalFoundries可出品零缺陷晶圆
28nm体硅测试晶圆

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